現有加熱電源(yuan)存在的問題：

    盡(jin)管我國晶體生(sheng)長設備的自動(dong)化程度有了很(hen)大提高，但是在(zai)常規的直拉法(fa)溫度控制環節(jiē)的設計上還存(cun)在以下問題：

    (1)加(jiā)熱電源的智能(neng)化程度不高。純(chun)模拟電路構成(cheng)，單閉環控制，自(zi)動化程度偏低(di)，功率的調節常(chang)滞後于系統對(dui)溫度的實際要(yào)求。

    (2)溫度需要手(shǒu)動調節。該設備(bei)在運行過程當(dang)中不能完全做(zuo)到無人值守，對(duì)于引徑、放肩及(ji)熔料過程的溫(wēn)度控制還需要(yao)工作人員通過(guo)電源櫃的旋鈕(niǔ)手動調節輸出(chu)值，等徑生長過(guo)程的實際控溫(wēn)精度與理論值(zhi)也有差距，參數(shù)的設置、調節和(hé)記錄均需要值(zhi)守人員參與完(wan)成。

    單晶爐改進(jin)方案：

    裝置采用(yòng)模塊化設計，微(wei)機控制，内置自(zi)适應能力較強(qiáng)的模糊PID控制算(suàn)法，具有控制參(can)數自動調節、顯(xian)示，可通過按鍵(jiàn)設定初值，系統(tong)異常可自動聲(shēng)光告警等新功(gong)能，即從整體上(shàng)提高溫控系統(tong)的智能化程度(du)和控制精度，加(jia)快參數調節的(de)響應速度，使整(zhěng)個生産過程中(zhōng)爐溫的變化能(néng)快速平滑地跟(gen)随工藝曲線變(bian)化，裝置通用性(xìng)強，操作上更加(jiā)簡單、可靠。

    單晶(jīng)爐 主要技術指(zhǐ)标：

    單晶爐加熱(rè)電源是一種大(da)功率直流電源(yuán)，要求輸出功率(lǜ)lOOkW，輸出電壓爲0-5V可(ke)調，輸出電流爲(wei)0-3000A；其輸出的能量(liàng)可直接爲單晶(jing)爐内的石墨加(jiā)熱器供熱，加熱(re)溫度範圍爲o～2000℃，控(kòng)溫精度要求達(dá)到±5℃；各種信号可(kě)自動檢測、顯示(shi)，參數的修改和(he)設定可通過按(an)鍵進行，以此來(lai)滿足單晶矽在(zài)生長階段對溫(wen)度的嚴格要求(qiu)。