單晶(jīng)棒等徑(jìng)控制是(shi)單晶爐(lú) 控制的(de)重點。單(dān)晶直徑(jìng)在生長(zhǎng)過程中(zhōng)課受到(dào)溫度、提(tí)拉速度(dù)與轉速(su)、坩埚跟(gen)蹤速度(du)與轉速(su)、生長物(wu)理環境(jìng)、保護氣(qi)體的流(liú)速與溫(wēn)度、冷卻(què)水流的(de)流速與(yu)溫度等(deng)因素的(de)影響。歸(guī)納起來(lai)，無外乎(hu)是熱場(chang)波動和(he)生長速(sù)度變化(hua)兩大類(lèi)。因此，爐(lu)内熱場(chǎng)設置，生(sheng)長溫度(dù)補償、速(sù)度等參(can)數選配(pèi)是控制(zhi)單晶外(wài)形的基(ji)本條件(jian)，爐内熱(re)場和生(sheng)長速度(du)的精确(què)控制是(shi)單晶等(deng)徑控制(zhi)的重點(diǎn)。由于影(ying)響單晶(jīng)等徑生(shēng)長的因(yin)素較多(duo)，控制對(duì)象數學(xué)模型難(nan)以建立(lì)，且這些(xie)因素本(běn)身以及(jí)它們之(zhī)間的關(guan)系是模(mo)糊的、不(bu)确定的(de)。系統具(jù)有非線(xiàn)性、時變(bian)性和大(dà)慣性的(de)特征。因(yin)而，單晶(jīng)爐單晶(jing)等徑生(sheng)長控制(zhì)采用模(mo)糊控制(zhi)策略是(shì)比較合(hé)适的。

    單(dān)晶等徑(jing)生長在(zai)忽略一(yi)些幹擾(rǎo)因素影(yǐng)響情況(kuàng)下，主要(yào)受溫度(dù)和拉速(sù)影響。如(ru)果恒定(dìng)溫度而(er)僅從生(shēng)長速度(dù)控制直(zhí)徑，外形(xíng)固然可(ke)以得到(dào)快速保(bǎo)證，但生(sheng)長速度(du)的大幅(fú)度調節(jie)會造成(chéng)單晶微(wēi)觀質量(liàng)缺陷。反(fǎn)之，如果(guǒ)恒定速(su)度而僅(jǐn)從溫度(du)調節來(lái)控制直(zhí)徑，由于(yu)這種控(kòng)制系統(tong)是一個(ge)緩慢時(shi)變，并且(qie)具有确(què)定性擾(rao)動和随(sui)機幹擾(rao)的非最(zui)小相位(wei)系統，用(yong)一般常(chang)規儀表(biao)控制手(shou)段來實(shi)現自動(dòng)控徑極(ji)爲困難(nán)。隻有對(duì)溫度和(hé)生長速(su)度進行(hang)綜合控(kong)制，才能(néng)完成等(děng)徑自動(dong)控制。