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高溫真空爐運用(yòng)在藍寶石結晶[2014/8/5]
高溫真(zhen)空爐在現代工業(yè)中應用于很多場(chǎng)合,如藍寶石晶體(tǐ)生長爐、高溫燒結(jie)爐等。藍寶石晶體(ti)生長爐通過對溫(wēn)度的精确控制來(lái)實現從晶體化料(liao)、引晶(或将籽晶熔(rong)化到合适的範圍(wéi))、長晶、退貨冷卻的(de)各個過程控制,晶(jing)體隻有按合适的(de)冷卻速度進行冷(lěng)卻結晶,才能長出(chū)高質量的藍寶石(shí)晶體。高溫燒結爐(lú)要通過對溫度的(de)較爲準确的控制(zhì),才能燒結出高質(zhì)量的、穩定的燒結(jié)産品。因此,高溫真(zhēn)空爐的爐溫測量(liàng)、監控是控制産品(pin)質量的重要手段(duàn)。而在自動化生産(chǎn)的情況下,且溫度(du)的控制精确度要(yao)求較高時,則要求(qiú)能對溫度進行長(zhǎng)時間連續準确的(de)測量,以實現對溫(wen)度的實時控制。高(gāo)溫真空環境下的(de)長時間連續準确(que)測量,是一個行業(yè)難題,目前爲止還(hái)沒有發現這方面(miàn)的實際應用。 以藍(lan)寶石晶體生長爐(lu)爲例,藍寶石晶體(tǐ)生長爐是一種用(yòng)于藍寶石單晶生(shēng)長的常用設備,通(tōng)常包括坩埚、加熱(rè)器、金屬保溫瓶等(děng),加熱器通電以後(hòu),将在坩埚外部形(xíng)成溫度場,溫度場(chang)對坩埚進行加熱(re)。泡生法藍寶石單(dan)晶聲場中,加熱溫(wen)度的變化對晶體(ti)的生長影響很大(dà),合适的引晶溫度(dù)、合理的降溫控制(zhì)程序都有利于提(tí)高晶體生長質量(liàng),晶體生長速率會(hui)随加熱溫度的降(jiang)低而快速增加。制(zhi)定适合晶體生長(zhang)的降溫程序,沒有(yǒu)一定的溫度測量(liang)技術做參考,晶體(tǐ)品質很難保證。因(yin)此,一般采用紅外(wài)測量技術做參考(kǎo),晶體品質很難保(bao)證。因此,一般采用(yòng)紅外測溫儀測量(liang)坩埚的溫度,以獲(huò)得較爲準确的測(ce)量溫度值。但是,在(zài)藍寶石單晶生長(zhǎng)過程中,藍寶石單(dan)晶爐的溫度較高(gāo),;安保室晶體以及(jí)熱場的金屬揮發(fā)物容易凝結在溫(wen)度較低的測溫玻(bō)璃表面,遮擋紅外(wai)測溫儀有效測量(liang)用光波,使紅外測(cè)溫儀讀數失真。爲(wèi)提高溫度測量的(de)準确性,目前通常(cháng)采用少量惰性氣(qì)體吹掃測溫玻璃(li)法。
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