真空爐系(xi)統中的油擴(kuò)散泵是靠高(gao)速蒸汽射流(liu)來攜帶氣體(ti)以達到抽氣(qì)的目的，它工(gōng)作在高真空(kong)區域，其工作(zuò)壓強範圍爲(wèi)10-2～10-6pa。油蒸汽從傘(sǎn)形噴咀(如I級(jí)噴咀)以超音(yīn)速噴出後，其(qí)速度逐漸增(zeng)大，壓力及密(mi)度逐漸降低(dī)。

    1．概述 油擴散(san)泵的工作原(yuan)理與水蒸汽(qì)噴射泵相似(sì)，都是靠高速(sù)蒸汽射流來(lái)攜帶氣體以(yi)達到抽氣的(de)目的，故有如(rú)水蒸汽噴射(shè)泵相似的特(tè)點。不同點是(shì)擴散泵工作(zuò)在高真空區(qu)域，其工作壓(ya)強範圍爲10-2～10-6pa。廣(guǎng)泛用于電子(zi)、化工、冶金、機(ji)械、石油及原(yuán)子能等工業(yè)部門中。

    2．油擴(kuò)散泵的工作(zuo)原理與結構(gòu)

    當油蒸汽從(cóng)傘形噴咀(如(ru)I級噴咀)以超(chāo)音速噴出後(hòu)，其速度逐漸(jiàn)增大，壓力及(jí)密度逐漸降(jiàng)低，射流上邊(biān)的被抽氣體(tǐ)A因密度差要(yào)向蒸汽射流(liú)中擴散并被(bèi)射流攜帶到(dao)水冷的泵壁(bi)處B，在B處，工作(zuo)蒸汽大部分(fen)被冷凝成油(you)滴沿泵壁流(liú)回到油鍋中(zhong)循環使用，而(er)被抽氣體在(zài)B處堆積、壓縮(suo)，最後被下級(ji)射流攜帶走(zǒu)，以達到逐級(jí)壓縮，最後被(bei)前級泵抽走(zǒu)。