直拉式單晶(jīng)爐是采用直拉(la)法（M3）生産無位錯(cuo)矽單晶的重要(yào)設備，目前世界(jiè)上80%以上的矽單(dān)晶錠的生産采(cǎi)用直拉式矽單(dān)晶爐"随着集成(chéng)電路産業的發(fā)展，對設備要求(qiu)裝料量大于250kg,拉(la)制矽單晶直徑(jìng)大于300mm(12英寸)，因此(ci)晶體的生長時(shi)間長，通常大于(yú)50h，對設備的穩定(dìng)性要求高，而設(she)備的結構是設(shè)備的基礎，其設(shè)備的結構和穩(wěn)定性對整個晶(jing)體生長拉晶過(guò)程有重要的影(yǐng)響"直拉式單晶(jīng)爐結構的靜力(lì)分析是整個結(jie)構分析的基礎(chǔ)。目前最常用也(ye)最有效的結構(gou)分析方法就是(shì)仿真，通過模拟(nǐ)實際工作環境(jing)，了解可能出現(xiàn)的結構問題，從(cong)而進行改進。而(ér)有限元等數值(zhí)分析理論與計(ji)算機結合，出現(xiàn)了一大批可以(yi)進行各方面仿(páng)真的大型軟件(jian)，它們爲設計階(jiē)段進行模拟仿(páng)真提供軟件支(zhī)持。在進行結構(gòu)分析和設計中(zhong)，很多時候需要(yao)具體部位的宏(hong)觀載荷值"通過(guo)實驗的方法獲(huò)取的宏觀力較(jiao)爲準确，但在受(shou)到條件限制而(ér)無法通過實驗(yàn)測出宏觀力時(shi)，往往根據材料(liao)力學方法，采用(yong)估算的方式，将(jiāng)載荷平均或按(an)一定經驗分配(pei)來獲得近似結(jie)果，導緻誤差較(jiao)大。本文通過仿(páng)真分析的方法(fa)對直拉式單晶(jing)爐部件進行結(jié)構分析，采用有(you)限元法的件分(fen)析獲得微觀的(de)應力分布，根據(jù)微觀應力與宏(hóng)觀載荷間的關(guān)系，從微觀應力(lì)理論上準确的(de)計算出宏觀載(zǎi)荷"。

    直拉式單晶(jing)爐的基本結構(gòu)由機架和爐室(shì)兩大部分組成(cheng)，機架作爲設備(bei)的主體支撐部(bù)分，其結構性能(neng)十分重要。本文(wén)以直拉式單晶(jīng)爐爲研究對象(xiàng)，建立了機架部(bu)分的有限元模(mo)型，采用軟件對(duì)其進行靜力分(fen)析，同時利用該(gāi)分析結果和軟(ruǎn)件提供的強大(dà)後處理功能，從(cóng)微觀應力分布(bù)中提取計算出(chū)底座下各墊鐵(tie)的宏觀載荷情(qing)況，對單晶爐靜(jìng)态特性進行判(pan)定，爲改善其結(jié)構性能提供了(le)依據。