感應熔煉 的(de)步驟有用前(qian)檢查單晶爐(lú)、試用單晶爐(lu)、單晶爐正式(shì)工作、熔煉産(chan)品抽檢、調整(zheng)測試、使用單(dān)晶爐完成後(hou)安全斷電，這(zhe)些步驟都不(bu)可以省略。
    在(zai)感應熔煉之(zhī)前應當檢查(chá)好設備，看看(kan)有沒有明顯(xian)損壞的零部(bù)件，然後根據(jù)說明書的要(yao)求來操作試(shì)用，如果經過(guò)試用工作正(zhèng)常，就可以開(kai)始正式生産(chǎn)了，但是生産(chan)的過程中也(ye)要不斷地檢(jian)查下産品，看(kan)産品的某些(xie)指标是否達(dá)标，産品質量(liang)是否合格，如(rú)果指标不達(dá)标、質量不合(hé)格就要調整(zheng)下機器，直到(dào)熔煉的産品(pǐn)的品質達到(dào)要求爲止。

    常(chang)見的單晶爐(lú)故障有晶棒(bang)晃動，單晶爐(lú)晶棒晃動機(ji)器仍然可以(yǐ)正常運轉，但(dan)是生産效率(lǜ)低，感應熔煉(liàn)的産品質量(liàng)差所以爲了(le)提高感應熔(rong)煉的效率和(hé)質量，不能盲(mang)目的熔煉，一(yī)定要對單晶(jing)爐進行檢查(chá)。晶棒晃動要(yao)檢查一下提(ti)拉頭、冷卻系(xi)統和真空系(xì)統。如果是提(tí)拉頭出現問(wèn)題，就要維修(xiū)調整下減速(su)機構或旋轉(zhuan)機構。如果是(shi)冷卻系統和(hé)真空系統出(chu)現問題，需要(yao)調整一下矽(xī)料和重錘結(jie)構。如果檢查(chá)這些地方沒(mei)有問題，看一(yi)下氩氣等惰(duo)性氣體是否(fǒu)在爐内流動(dong)，氩氣在爐内(nei)流動的話，就(jiù)需要改裝一(yī)下單晶爐了(le)，保證單晶爐(lu)熱場分布均(jun)勻。
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